ポーラスチャックジェーイーエル

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。

チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。
平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です。
メッシュ粒径はグレード＃100、＃220、＃400から選択可能です。
ワーク吸着面に導電性テフロンコーティング処理も可能です。