株式会社ジェーイーエル 落とし込みチャック
- 最終更新日：2014-12-26 22:38:13.0
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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。
外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。
ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。
外周から接触制限のあるウェーハをお求めやすい価格で搬送
オプションで基板有無センサを付ける事によってウェーハの有無を確認（大気使用時）
基本情報落とし込みチャック
材質 セラミックス, アルミニウム, CFRP
表面処理 導電性テフロンコーティング
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置など |
取扱企業落とし込みチャック
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電子機器製造販売
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