コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性
ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」は、省スペース・高精度・低価格、タクトタイム0.4 s/pcs以下を実現しました。（※SMD3.2 × 2.5, 24 MHz, H1000 ppm/s, L50 ppm/s の場合）
新型イオンガン (ビーム幅: 100 mm) 搭載で、標準24～32個同時処理が可能となりました。
高精度・高安定・高再現性の搬送機構により、2.0 × 1.6以下の微小ワークも安定して生産できます。
FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。
イオンガン本体、コンタクト機構のメンテナンス性が大幅向上しました。
２室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。
オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。
【特徴】
○コンパクト設計
○高精度
○低価格
○高安定性
○高再現性
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」
【仕様】
○対応可能ワーク
→水晶振動子 水晶発信器 (3225, 2520, 2012, 1612, 1210)
→音叉振動子 (4115, 3215, 2012)
○装置構成 2室（仕込室, 処理室）インターバック式
○搬送系 1軸 X方向のみ
○排気系 8インチ TMP
○イオンソース 100mmビーム矩形型 1式 → 32ビーム (4 mmピッチ)
○計測器 ネットワークアナライザー/周波数カウンター 4台 (6端子/1台)
○周調工程 1～4段階 (H, M, L, LL)
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。 |
| 用途／実績例 | 水晶デバイス周波数調整 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」
取扱企業ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」
ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
