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射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES
樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能!
新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成…
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LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置 Sapio-DBR
LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適!
Sapio-DBR(SGC-S1550i/S1300iシリーズ)は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。 LED用光学多層…
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超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」
低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。
超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精…
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ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400T
ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。
ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 SIH-400Tは、アクセサリーなどの装飾膜成膜、工具の硬化膜成膜に最適です。 導入ガス(N2、O2、C2H2)の量、及び種類を変えることにより、成膜色…
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ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」
膜厚分布:トレー内 ±1.2%、トレー間 ±1.5%を達成しました。
昭和真空は、約15年の実績を誇るベストセラー装置SPH-2500のフルモデルチェンジを行いました。 ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」は、従来装置の特徴を受け継ぎつつ最新…
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