スパッタ装置 QKG-Sputtering 九州計測器

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！〜サンプル測定実施中！〜

従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。
○省スペースで作業スペースにメリット
○成膜の再現性が上昇するメリット
○工数削減、エラー減少、気分上昇メリット
○ワンボタンで成膜までフルオート→作業効率メリット
○１インチカソードで材料費を削減メリット

スパッタを高精度に仕上げる治具やカスタマイズもご相談ください。

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基本情報スパッタ装置 QKG-Sputtering

装置構成：
成膜チャンバー本体・自立制御盤・チラー・コンプレッサ
処理方法：
バッチ処理
スパッタ源：
マグネトロン式φ25mm×5
※詳細はカタログ裏面をご確認ください。

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用途／実績例	用途：・有機EL,太陽電池,光学部品,バイオ,半導体,電子部品,自動車,樹脂,特殊膜,MEMS etc..

取扱企業スパッタ装置 QKG-Sputtering

九州計測器株式会社

※ISO9001 ISO14001 認証取得済１．電子計測器並びに電子応用機器等の製作、販売及び修理・校正２．研究開発サービス業：お客様のアイデアを具現化するお手伝い３．半導体、集積回路等の電子機器付属品の販売及び修理４．システム制御装置の製作、販売及び修理５．計測コンサルタント６．中古機器の販売７．真空機器の設計、製作、販売、修理及び付属部品全般８．その他上記各号に付帯関連する一切の事業