株式会社アルバック/ULVAC, Inc. 超高真空フランジUFCシリーズ

ISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。【アルバック/ULVAC】

UFCシリーズは、アルバック独自のナイフエッジ型メタルシール方式のISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。
UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなども各種取りそろえています。

【仕様】
○使用圧力領域 大気圧~ 10^-11Pa
○許容リーク量 1.0×10^-11Pa・m3/s
○使用温度範囲 -196 ~ 450°C
○常用ベークアウト 温度300°C以下
○材質 オーステナイト系ステンレス鋼

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基本情報超高真空フランジUFCシリーズ

【特徴】
○長寿命設計
→エッジ部は、繰り返しの接続に耐える長寿命設計
○超高真空に最適
→メタルシール方式採用により、ガスの透過が無く、リークタイト
→オーステナイト系ステンレス鋼の採用により低ガス放出を実現
[UFCフランジ]
○溶接歪みを抑える構造
→フランジと接続パイプの溶接部には、
 ナイフエッジ部の歪みやフランジ全体の歪みを抑える構造を採用
○固定式と回転式
→各サイズに固定式と回転式をラインナップ
→固定式は通しボルト穴仕様とタップ穴仕様をラインナップ
[UFC変換フランジ]
○コンパクト設計に便利
→接続パイプを使用しないため、
 コンパクトに異径フランジのコンポーネントを接続可能
[フィッティング]
○豊富なラインナップ
→30種のフィッテングをラインナップ
[ガスケット]
○超高真空に最適
→無酸素銅(OFHC)製メタルガスケットは、清浄で低放出ガス

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用途/実績例 【用途】
○各種超高真空装置
○各種分析装置
○リークタイト仕様の用途
○高温ベーキングの用途

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カタログ超高真空フランジUFCシリーズ

取扱企業超高真空フランジUFCシリーズ

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株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。

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