株式会社アルバック／ULVAC, Inc. 成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
- 最終更新日：2016-01-27 18:11:05.0
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高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバック／ULVAC】
RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。
【ラインナップ】
○RFS-1305N/1310N
○RFS-1330N/1350N
○MBX-1305N/1310N
○MBX-1330N/1350N
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
【特徴】
○高効率アンプ採用
→電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー
○高速オートマッチング
→高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施
○RF電源にオートマッチング機能を内蔵
→本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能
→内蔵のコントローラでRF電源・マッチングボックスの
マニュアル操作も可能
○柔軟な制御形態に対応
→外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能
○高信頼性
→装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○スパッタリング装置 ○CVD 装置 ○プラズマエッチング装置 ○RFイオン源 ○ニュートラライザ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログ成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
取扱企業成膜用RF電源 RFS-Nシリーズ
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ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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