非接触チャックソーラーリサーチ研究所

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。
●多種多様のワークに対応
ユーザーの業種は、半導体、FPD、偏光板、フィルム、光学、エレクロニクス、紙、繊維と多方面にわたり、納入実績は数百件に達している。
ワークの大きさは数mm角チップ/レンズから数m角ガラス、厚さも数μmのものもある。性状も反りのあるウエハ、スルーホール、通気性、柔軟性のあるワーク、表面塗布したワークと多種多様である。

関連リンク - http://www.solarlab.co.jp/sac1

基本情報非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の「非接触チャック」は垂直気体噴流方式を採用しており、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。
　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。

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型番・ブランド名	フロートチャック
用途／実績例	半導体ウエハ、液晶ガラス基板、機能性フィルム、レンズ、微小チップ、セラミックグリーンシート、不織布他