ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』
ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』 http://www.ipros.jp/public/product/image/bc8/2000230034/IPROS3248983542721437051.JPG 【主な仕様】(型式:LE-W1) 検出方式  :レーザー散乱方式、反射方式 検出欠陥  :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン 対象素材  :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ :2、4、6インチ 検査時間  :約90秒/枚(4インチ、10μmピッチ) レーザー波長:405nm 検査ピッチ :5~30μm 結果出力  :マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類 機器寸法  :W 1800×D 990×H 1490(mm) ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 株式会社クボタ  電装機器事業部 精密機器事業ユニット 測定・分析 > 検査機器・装置 > 欠陥検査装置
  • 透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!【図書カード1000円分プレゼントキャンペーン中】
    株式会社クボタ 
    『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
    最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。

    高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出!
    ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます!

    【その他の特長】
    ■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査)
    ■欠陥の凹凸を弁別
    ■全数オートフォーカス
    ■カスタマイズ対応
    ■1カセット自動検査対応

     <<<図書カード プレゼントキャンペーン実施中!>>>
        簡単なアンケートにお答え頂くと、
        先着50名様に図書カード1000円分を差し上げます!
     ※下記「お問合せ」からお申込み下さい!(締切:2016年3月31日)
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基本情報ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

【主な仕様】(型式:LE-W1)
検出方式  :レーザー散乱方式、反射方式
検出欠陥  :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン
対象素材  :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等
対象サイズ :2、4、6インチ
検査時間  :約90秒/枚(4インチ、10μmピッチ)
レーザー波長:405nm
検査ピッチ :5~30μm
結果出力  :マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類
機器寸法  :W 1800×D 990×H 1490(mm)

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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よく使用される業種

産業用機械、電子部品・半導体、試験・分析・測定、その他製造

カタログウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

  • 『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
    最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。

    高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出!
    ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます!

    【その他の特長】
    ■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査)
    ■欠陥の凹凸を弁別
    ■全数オートフォーカス
    ■カスタマイズ対応
    ■1カセット自動検査対応

     <<<図書カード プレゼントキャンペーン実施中!>>>
        簡単なアンケートにお答え頂くと、
        先着50名様に図書カード1000円分を差し上げます!
     ※下記「お問合せ」からお申込み下さい!(締切:2016年3月31日)
    [PDF:296KB]

取扱会社ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

株式会社クボタ  電装機器事業部 精密機器事業ユニット

クボタは、ロードセル(荷重センサ)を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。 【取扱製品】  ・デジタルロードセル  ・LPG充填シリーズ  ・台はかりシリーズ  ・指示計  ・トラックスケールシリーズ  ・粉粒体機器  ・防爆はかりシリーズ  ・廃棄物計量システム  ・ホイストスケール(吊りはかり)

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