グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F 大阪真空機器製作所

取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。

【特長】
■急速ベント停止が可能。
■大気突入に強い構造。
■安全規格適合　NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ)

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

基本情報グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F

【特長】
■取付姿勢自在
■コンパクトサイズ
■省エネルギー
■急速起動
■急速ベント停止が可能
■大気突入に強い構造
■高圧縮比
■コントローラ一体型
■安全規格適合　NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ)

【標準セット】
ポンプ+コントローラ用コネクタ

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	半導体製造、FPD(LCD・PDP・有機EL・FED・他)製造、各種電子部品製造、管球製造、光学部品(レンズ・光学フィルター等)製造、電子銃排気、イオン源排気、熱処理、表面処理、表面改質、分析・試験装置、加速器、放射光施設、核融合研究、研究開発、他