現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを開発。3000台の納入実績があります。
3種類のパージ
1. ロード時のパージ
2. 開放時のパージ
3. アンロード時のパージ
基本情報FOURPロードポートN2パージ改造
POINT：
1．Power: AC110V, 15A
（Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。）
2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2
（実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port 一つ毎につき、管を一つ引きます。）
3. Exhaust: GEX, 3/8”
（Port一つ毎につき、3/8管を引きます。）
4. Communication: Ethernet
（主要機台一台に1本のネットワーク回線を引くだけで、IPが使えるようになります。）
5. 穴が必要
（L/P一つ毎につき、回路及びパイプライン前部に穴を開ける必要があります。大小サイズに関係なく、 現場できちんと位置を確認してください。）
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FOUP Loadport N2 Purge |
| 用途／実績例 | 3000台以上の納入実績あり。 |
取扱企業FOURPロードポートN2パージ改造
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半導体製造装置、液晶製造装置及びコンピューターシステム関連機器の修理サービス 半導体製造装置及び液晶製造装置用金属、樹脂、石英部品の製造、販売 電子機器部品の輸入、販売 ウレタン発泡機の製造、販売、修理 排ガス処理装置の販売、保守サービス 航空機部品の輸入、販売
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