ワークの大きさ・形状を問わない！部分的に吸着できるチャック
チャック「ファインポーラスチャック」は、ワークの大きさ・形状を問わず部分的に吸着できます。
半導体製造装置・半導体各種検査用に最適です。
形状、寸法、ボディ材質等その他仕様につきましてはご相談に応じて対応いたします。
【特徴】
○従来品のポーラスに比べて、緻密なポーラスを使用
○エアーの漏れが起きづらいので、部分的な吸着でも固定力が落ちない
○アルミナセラミック素材のポーラスのため、
従来通り高精度加工の対応が可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報チャック「ファインポーラスチャック」
【できること】
○ポーラス面を前面覆わない、部分的な吸着が可能
○数μmの板厚の極薄ワークの吸着固定が可能
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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|---|---|
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○半導体製造装置・半導体各種検査用 ○プリント基板製造装置 ○FPD製造装置、搬送装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログチャック「ファインポーラスチャック」
取扱企業チャック「ファインポーラスチャック」
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