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さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現します
『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を…
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導電性新素材ガラス状カーボン！発塵がほとんどないチャック
「カーボンポーラスチャック」は、導電性を持っているので帯電しにくいチャックです。 100％ガラス状カーボンという特殊素材で構成するポーラスなので、 発塵がほとんどなく、吸着面が滑らか。 耐腐食性…
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吸着しながら加熱・冷却実験が可能！ローコスト化を実現する真空チャック
「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。 ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。 …
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ワークの大きさ・形状を問わない！部分的に吸着できるチャック
チャック「ファインポーラスチャック」は、ワークの大きさ・形状を問わず部分的に吸着できます。 半導体製造装置・半導体各種検査用に最適です。 形状、寸法、ボディ材質等その他仕様につきましてはご相談に応…
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お客様の「こんなものが欲しい！」を独創技術で形にします
お客様のニーズにお応えするため、吉岡精工は技術のハードル超えのチャレンジを続けています。「ニーズをカタチにする」ために、吉岡精工は独自のビジネスフローでお応えします。 「こんなものが欲しい！」そんな…
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精度アップの要は固定技術にあり！真空吸着テーブル
吉岡精工整ポーラスチャックは、安全・安定かつ精度の高いワーク作業環境のご提供に加え、お客様の用途にマッチした製品を提供することで、最高の作業環境づくりと製品性能向上のお手伝いをいたします。 ポーラス…
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吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！
吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせ…
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ワークの輪郭が鮮明に浮かび上がる！検査工程の作業性向上に大きく貢献
『面発光ポーラスチャック』とは、吸着した状態で裏面からバックライトが 照射される機能を保有した製品です。 バックライトの代わりとしてチャック部から光を発光し、 検査工程の作業性向上に大きく貢…
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チューブレスで吸着・搬送が出来ます
従来のポーラスチャックは、本体と真空発生装置、コンプレッサーが必要で実験や検査等で、手軽にデスク上でワークを吸着固定してみるということがなかなか出来ませんでした。 そこで吉岡精工では小型真空ポン…
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ヒーターテーブル
ボンディング工程では高温での使用になるため、その環境に耐えられるよう製作されています。 主に半導体製造のボンディング工程で使用されるポーラスチャック
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丸型ポーラスチャック
全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント…
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机の上などで気軽にワークを固定できます
従来のポーラスチャックは本体と真空発生装置、コンプレッサーが必要で実験や検査等で手軽にデスクの上でワークを吸着固定してみるということがなかなか出来ませんでした。 そこで吉岡精工では真空発生装置を内蔵…
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ネジ締結型ポーラスチャック
従来ポーラスチャックはボディにポーラスを接着剤で貼り付けていますが、当社では接着剤の影響による膨張・伸縮の少なく、水・気温・湿度といった外部環境の変化に対して精度変位の少ないポーラスチャックを開発いた…
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メタルポーラス使用 ポーラスチャック
耐久性のあるメタルポーラスです。 ポーラス(多孔質体)にメインテナンスしやすく、耐久性のあるメタルポーラスを使用したポーラスチャックです。
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１２インチポーラスチャック
300mmウェハー対応の大口径ポーラスチャックです。 現在さらに大口径の16インチポーラスチャックの試作も完了し、次世代大口径ウェハーへの対応も行っています。
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マルチポーラスチャック
一台のポーラスチャックでポーラス部分が複数に分割されているポーラスチャックです。 ポーラス部分を複数に分割したポーラスチャック
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