株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン ロータリーマグネトロン

SMロータリーマグネトロン
搭載方式：サイドマウント搭載
型式：ＳＭ　（大型基板用）
対応ターゲット長さ：4000ｍｍまで
投入可能最大パワー：
200ｋＷ ａｔ ＤＣ/ 80ｋＨｚ ａｔ ＭＦＡＣ
完全片持ち：1500ｍｍで140ｋｇ以下まで可能
専用モーター及び専用ベルト：含む
水平・垂直搭載：両方可能
マグネット角度：360度自由に調整可能

MMロータリーマグネトロン
搭載方式：サイドマウント搭載
型式：ＭＭ　（中型基板用）
対応ターゲット長さ：２５００ｍｍまで
投入可能最大パワー：
１００ｋＷ　ａｔ　ＤＣ／　８０ｋＨｚ　ａｔ　ＭＦＡＣ
完全片持ち：１０００ｍｍで１４０ｋｇ以下まで可能
専用モーター及び専用ベルト：含む
水平・垂直搭載：両方可能
マグネット角度：３６０度自由に調整可能

CMロータリーマグネトロン
搭載方式：サイドマウント搭載
型式：ＣＭ　（小型基板用）
対応ターゲット長さ：１０００ｍｍまで
投入可能最大パワー：
２０ｋＷ　ａｔ　ＤＣ／　８０ｋＨｚ　ａｔ　ＭＦＡＣ
完全片持ち：７５０ｍｍで４５ｋｇ以下まで可能
専用モーター及び専用ベルト：含む
水平・垂直搭載：両方可能
マグネット角度：３６０度自由に調整可能
特記事項：８０ｍｍ及び１２５ｍｍの内径ターゲットを搭載可能

SCロータリーマグネトロン
搭載方法：真空内ドロップイン
型式：ＳＣ　（大型基板用）
エンドブロック幅：２０４ｍｍ
対応ターゲット長さ：４０００ｍｍまで
投入可能最大パワー：
２００ｋＷ　ａｔ　ＤＣ／　８０ｋＨｚ　ａｔ　ＭＦＡＣ
ＴＴＳ調整：スペーサーを挟むことにより可能
アウトボードサポートブロック：含む
専用モーター及び専用ベルト：含む
水平・垂直搭載：両方可能
マグネット角度：１５度刻みで調整可能

MCDロータリーマグネトロン
搭載方法：真空内ドロップイン
型式：MC-D　（中型基板用）
エンドブロック幅：160ｍｍ
対応ターゲット長さ：2500ｍｍまで
投入可能最大パワー：
100ｋW at DC/ 80kHz at MFAC
TTS調整：スペーサーを挟むことにより可能
アウトボードサポートブロック：含む
専用モーター及び専用ベルト：含む
水平・垂直搭載：両方可能
マグネット角度：360度自由調整可

TCロータリーマグネトロン
搭載方法：真空内ドロップイン
型式：TC　（小型基板用）
エンドブロック幅：58ｍｍ
対応ターゲット長さ：1500ｍｍまで
投入可能最大パワー：
40ｋW at DC/ 80kHz at MFAC
TTS調整：スペーサーにより可能
アウトボードサポートブロック：両持ちタイプ
専用モーター及び専用ベルト：含む
水平・垂直搭載：両方可能
マグネット角度：360度自由に調整可能

スイングロータリーマグネトロン
型式：Swing Cathode　（静止基板用）
対応ターゲット長さ：4000ｍｍまで
投入可能最大パワー：
200ｋW at DC/ 80kHz at MFAC
専用モーター及び専用ベルト：含む
水平・垂直搭載：両方可能
特記事項：内部のマグネットバーが
左右に揺動する。複数本並べる事により、
静止した基板に対し、±１％以下の
分布と、70％以上の利用効率を同時に実現

QRMマグネットバー
型式：QRMバー （強磁場）
構造：4連
磁力：1,056ガウス at 外径150ｍｍ
磁場調整ネジ：＋2ｍｍ〜－7ｍｍ
ネジ位置：約300ｍｍ毎
隣接ネジ許容高低差：最大2ｍｍ
最大使用可能ターゲット：外径180ｍｍ
スパッタアングル：±21度
公称分布：±2%以下
公称ターゲット使用効率：85％以上

RAMマグネットバー
型式：RAMバー （遠隔制御式バー）
磁場調整ネジ稼働範囲：20ｍｍ
調整精度：±50ｕｍ
ネジ位置：約300ｍｍ毎
公称分布：±1%以下 at 3ｍ幅基板
特記：チャンバー外部
より、光ファイバーを通じて各ポジションの調整
ネジを制御。それにより、マグネットとターゲッ
トの距離を±50ｕｍの精度で調整。スパッタプロセス中にコントロール
可能。究極の分布調整が可能となる。