日立Astemo＆ナガノ株式会社 Aera PI-980 プレッシャーインセンシティブＭＦＣ
- 最終更新日：2016-05-13 16:19:00.0
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この画期的な技術プラットフォームは、従来の技術と比べて、応答性、ガス流量安定性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。
PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。
この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ製品のプラットフォームと組み合わせたことで、装置稼働時間を向上させるとともに、迅速かつ容易なトラブルシューティングを実現します。
基本情報Aera PI-980 プレッシャーインセンシティブＭＦＣ
特長
・プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能
・高い計測精度と再現性
・IGS方式対応
・実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応
・フィールドでのプログラムが可能
・DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
・ディスプレイ搭載
・自己診断機能内蔵
・100％メタルシール、高純度仕様
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Aera |
| 用途／実績例 | 半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションなど |
カタログAera PI-980 プレッシャーインセンシティブＭＦＣ
取扱企業Aera PI-980 プレッシャーインセンシティブＭＦＣ
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●日立オートモティブシステムズグループ製品の販売 ・鉄道車両用オイルダンパー ・地震振動対策／産業用オイルダンパー ・減震くんスマート ・ルーツ流量計、ルーツガスメータ ・緊急遮断弁 ・ガバナ ・ＰＦＡ超音波渦流量計 ・アツギプレス（小型油圧プレス） ●長野計器グループ製品の販売 ・圧力計、デジタル圧力計、圧力センサ ・差圧計、差圧センサ、液面計 ・温度計 ・流量計 ・スーパー電空レギュレータ ・エアリークテスタ ・リーク試験装置 ●日立グループ製品の販売 ・マスフローコントローラ ・オイルフリーベビコン ●その他産業機器の販売 ・電気集塵機 ・酸洗管、ＢＡ管、ＥＰ管 ・継手、バルブ ・サニタリ配管材 ・圧力調整器 ・液化ガス残量計 ●各種装置の販売 ・リーク試験装置 ・電気集塵装置 ・半導体材料ガス供給装置 ・半導体液体材料気化装置 ・計装盤 ・制御盤
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