クアーズテック株式会社 SiCウェハボート
- 最終更新日:2022-04-11 11:48:35.0
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高温での使用が可能で1350℃まで対応可能!主要装置メーカーの認定を取得しており、パーティクル発生を抑制します。
高純度で高温での使用も可能なウェハボートです。
主要装置メーカーの認定を取得しており、パーティクル発生を抑制します。
【特長】
■ 高純度
■ 高温での使用が可能(~1350℃)
■ パーティクル発生を抑制
■ 主要装置メーカーの認定を取得
※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください
基本情報SiCウェハボート
【用途】
拡散/LP-CVDプロセス用ウェーハキャリア
【材料】
高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ●詳しくはカタログをご覧頂くか、もしくはお問い合わせください。 |
カタログSiCウェハボート
取扱企業SiCウェハボート
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クアーズテックでは、半導体関連をはじめ、液晶関連、一般産業関連、環境関連、バイオ・医療関連などの各分野に向けて先端材料・高機能部品を提供しています。 ○半導体関連事業 半導体製造プロセスに必要な石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品を はじめ、各種ファインセラミックス製品などを開発・供給しています ○液晶関連事業 フラットパネルディスプレイの大画面化により、より高精度化が求め られるフォトマスク基板をはじめ、フラットパネルディズプレイ生産の 合理化・効率化をサポートする多彩な製造部材を提供しています。 ○一般産業関連事業 運輸・電機など様々な製品に組み込まれるモーターの電流を供給する カーボンブラシ、短時間で高温に昇温が可能な産業用ヒーター、 電子部品の焼成用耐火物など、無機材料の特性を生かした製品を 供給しています。 ○環境関連事業 高温用熱交換器など、環境保全や環境負荷の低減に貢献する製品を供給 しています。 ○バイオ・医療関連事業 ハイドロキシアパタイト人工骨補填材といった高い技術力と加工技術を駆使した製品を供給しています。
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