シリコンの加工事例を紹介します。
半導体製造において、ウェーハと同材質であるシリコンは、コンタミネーション、パーティクルを避ける用途で、製品を加工しています。
柱状晶(多結晶)の素材は、大型サイズもあります。
また、柱状晶の方が単一の結晶でないため、カケ、チッピング、ワレの加工性は良好です。
【加工事例】
■製品名:ドーム型電極
■使用素材:シリコン
■加工方法:球状加工
■サイズ:φ60
■イメージサンプル品はマシニングセンタで凸凹加工
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報加工事例『シリコン』
【加工可能なサイズ】
■板寸法:500×800×50 mm(柱状晶)
■丸棒寸法:φ100×400 mm(柱状晶)
■溝:幅 0.05~ mm
■凹凸:~100 mm
■穴径:φ0.03~ mm
■穴深さ:20D(~φ1.5)、400(φ1.5~)mm
■穴数:~5,000
■ネジ:M3~(ヘリサート挿入要)
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カタログ加工事例『シリコン』
取扱企業加工事例『シリコン』
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ファインセラミックス、石英などの耐熱ガラス、およびモリブデン、タングステン、タンタルを代表とする耐熱金属の研削および切削技術により、ミクロン単位の高精度加工が可能です。 80台近くのCNCマシニングセンタを所有し、そのうち15台所有する5軸加工機では、CAD/CAMを駆使した3次元曲面形状加工も行っております。 主な加工材質 ◎セラミックス アルミナ、サファイア、ジルコニア、窒化アルミ(AlN)、窒化ケイ素(Si3N4)、炭化ケイ素(SiC) マシナブルセラミックス各種、MMC(複合材:金属+セラミックス)、CMC(複合材:セラミックス基複合材、SiC繊維)、その他特殊セラミックス ◎耐熱ガラス 石英ガラス、サファイアガラス、テンパックスガラス、パイレックスガラス その他特殊ガラス、ガラスセラミックス(LTCC)など ◎耐熱金属 タングステン(W)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)
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