『KFOD-1』は、るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより
加熱をする低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。
るつぼ(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。
既存装置でも試料に向けて取付でき、ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できます。
短時間での加熱、温度安定性にすぐれ、お手持ちの直流安定化電源で
簡単に動作できます。
小型で簡易設計の為、研究開発用途におすすめです。
【特長】
■低温蒸発材料用の簡易蒸着源
■小型で単純な形状
■取り扱いが簡単
■短時間での加熱、温度安定性にすぐれる
■直流安定化電源で簡単に動作可能
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』
【仕様】
■導入径：φ36
■導入フランジサイズ：最小 ICF070
■真空内長さ：60ｍｍ～(選択可)
■導入向き：上向き～水平(任意)
■蒸着向き：0°～90°
■るつぼ材質：アルミナ
■るつぼ容量：0.3cc
■フィラメント材質：タンタル
■熱電対：K型
■推奨使用温度：～350℃(熱電対周辺)
■温度安定性：±2.5℃
■消費電力：2.6Ａ/7.5Ｗ(350℃:るつぼ温度)
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | お問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■蒸着 ■研究開発 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログフリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』
取扱企業フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』
-
-
最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他） 《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ） （化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ） 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）
フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
