シグマテック株式会社 真空対応1nmフィードバックステージシステム

真空対応1nmフィードバックステージシステム ■ステージ 最小分解能:1nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:1nm 最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O シグマテック株式会社 測定・分析 > 顕微鏡・マイクロスコープ > その他顕微鏡・マイクロスコープ
リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm 真空チャンバー内で使用できるステージ

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

基本情報真空対応1nmフィードバックステージシステム

■ステージ
最小分解能:1nm(内蔵スケールの読み取り値に対して)
ストローク:20mm~50mm
最大移動速度:2mm/sec
対応真空度:10^-4 Pa
■コントローラ
制御軸数:2
最小指令単位:1nm
最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます)
制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
用途/実績例 微細な位置決めを必要とする様々な分野。
X線を利用した研究分野
半導体分野

ラインナップ

型番 概要
FS-1050UPX(V) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、50mmストロークの真空対応ステージ
FS-1040UPX(V) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、40mmストロークの真空対応ステージ
FS-1020UPX(V) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、20mmストロークの真空対応ステージ
FC-911 1nm分解能ステージ用のコントローラ

カタログ真空対応1nmフィードバックステージシステム

取扱企業真空対応1nmフィードバックステージシステム

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シグマテック株式会社

精密位置検出器の開発、製造、販売 精密位置決め機器の開発、製造、販売 特注ステージシステム製品の設計、製造、販売 特注ステージ周辺治具の設計、製造、販売 前略号に付随する一切の業務

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