シグマテック株式会社 真空対応1nmフィードバックステージシステム

真空対応1nmフィードバックステージシステム ■ステージ 最小分解能:1nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:1nm 最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O シグマテック株式会社 測定・分析 > 顕微鏡・マイクロスコープ > その他顕微鏡・マイクロスコープ
リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm 真空チャンバー内で使用できるステージ

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。
真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

基本情報真空対応1nmフィードバックステージシステム

■ステージ
最小分解能:1nm(内蔵スケールの読み取り値に対して)
ストローク:20mm~50mm
最大移動速度:2mm/sec
対応真空度:10^-4 Pa
■コントローラ
制御軸数:2
最小指令単位:1nm
最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます)
制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

価格 -
※お問い合わせください
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
用途/実績例 微細な位置決めを必要とする様々な分野。
X線を利用した研究分野
半導体分野
よく使用される業種 電子部品・半導体、光学機器、航空・宇宙、試験・分析・測定、IT・情報通信、医薬品・バイオ、教育・研究機関

ラインナップ

型番 概要
FS-1050UPX(V) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、50mmストロークの真空対応ステージ
FS-1040UPX(V) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、40mmストロークの真空対応ステージ
FS-1020UPX(V) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、20mmストロークの真空対応ステージ
FC-911 1nm分解能ステージ用のコントローラ

カタログ真空対応1nmフィードバックステージシステム

精密位置決めステージ『選定時に知っておきたい Q&A』

精密位置決めステージ『選定時に知っておきたい Q&A』 表紙画像

「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用していて、より精密な動作が必要な方に、位置決めステージを選定するときに必要な情報をまとめてQ&A形式で解説いたします。

合わせて、周辺設備を選定するときにもお読みください。

【掲載内容】
■本カタログについて
■連絡先
■目次
■Q&A
■備考 他

詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フィードバックステージシステム総合カタログ(大気・真空)第5版

フィードバックステージシステム総合カタログ(大気・真空)第5版 表紙画像

本カタログは弊社が設計・製造・販売を行っております、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)を構成する、フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格を記載したカタログとなります。
フィードバックステージシステムは高分解能の光学式リニアエンコーダをステージに内蔵しており、エンコーダからの位置の読み取り値をコントローラにフィードバックすることで、ナノメートルオーダーの位置決めができます。

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真空対応1nmフィードバックステージシステム カタログ

真空対応1nmフィードバックステージシステム カタログ 表紙画像

◆ボールねじ駆動で1nm分解能を達成!
◆弊社開発のリニアスケールを内蔵し、自社独自開発のフィードバック制御回路を搭載!
◆対応真空度は10^-4 Paで真空チャンバー内で使用可能
◆フィードバックステージは薄型で軽量の設計
◆直動ストロークは20mm,40mm,50mmの3種類をラインナップ
◆リニアスケールがステージ内にビルトイン!バックラッシュ等の機械誤差を無視できる!

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取扱企業真空対応1nmフィードバックステージシステム

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シグマテック株式会社

精密位置検出器の開発、製造、販売 精密位置決め機器の開発、製造、販売 特注ステージシステム製品の設計、製造、販売 特注ステージ周辺治具の設計、製造、販売 前略号に付随する一切の業務

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