株式会社テクニカルフィット 小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置
- 最終更新日:2018-11-02 20:04:12.0
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ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置!独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。
■表裏側面を同時に洗浄可能
■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等
■対応ウエハ口径 :φ2”~φ8” 厚みについては要相談
■透明ウエハにも対応
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基本情報小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 各種ウェハー洗浄 |
カタログ小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置
取扱企業小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置
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