株式会社テクニカルフィット 小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置

小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置 http://www.ipros.jp/public/product/image/5a7/2000281532/IPROS1299942151856340815.jpg ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 株式会社テクニカルフィット 科学・理化学機器 > 洗浄機 > その他洗浄機
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置!独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応

ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。

■表裏側面を同時に洗浄可能
■被洗浄対象ウエハ : シリコン、石英、酸化物、化合物等
■対応ウエハ口径  :φ2”~φ8” 厚みについては要相談
■透明ウエハにも対応

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基本情報小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置

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用途/実績例 【用途】
各種ウェハー洗浄

カタログ小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置

取扱企業小径ウェハ(LT・SiC等2〜6インチ)両面同時スクラブ洗浄装置

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■各種装置の開発、製造、販売 ■各種装置に付帯関連する一切の業務

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