ニッタ・デュポン株式会社 発泡ポリウレタンパッド『EXTERION(TM)』
- 最終更新日：2020-03-31 11:45:03.0
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鏡面研磨加工における一次研磨に最適な研磨パッド
EXTERION(TM)シリーズは、優れた発泡コントロール技術から生まれたポリウレタン発泡パッドです。シリコンウェーハや化合物基板などの一次研磨に使用され、高品位な仕上がり面と信頼性の高い研磨性能を得ることができます。また特殊な加工技術により 優れた厚み精度と立ち上げ性能を発揮します
基本情報発泡ポリウレタンパッド『EXTERION(TM)』
【特長】
・高生産性
・高安定した品質
・高平坦性
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※仕様によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | シリコンウェーハの一次研磨など。平坦化加工 |
カタログ発泡ポリウレタンパッド『EXTERION(TM)』
取扱企業発泡ポリウレタンパッド『EXTERION(TM)』
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■精密研磨システムの提供 ・半導体デバイスのCMP用消耗資材（パッド、スラリー、バッキング材）の製造・販売 ・シリコンウェーハ、LCDガラス基板、サファイア基板、ハードディスク等の超精密平面研磨用消耗資材（パッド、スラリー、バッキング材）の製造・販売
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