『ASM Epsilon用温度センサー』ＩＢＰテクノロジー

新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！

今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、
ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、
従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能となりました！

“EtchDefender”は数年間にわたり、大学の研究機関、大手ウエハメーカーの
製造設備にて、検証を繰り返して達成した信頼性のある技術です。

この新しいコーティング技術によって、センサーの寿命を延ばし、
35～45％もの大幅なコストダウンを実現することができます。

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報『ASM Epsilon用温度センサー』

【EtchDefender (エッチディフェンダー)の特長】
■ウエハへの異物付着の低減
　石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。
■耐久性
　真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。
■失透速度のスロー化
　900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。
■浸食速度のスロー化
　石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐食性ガスによる浸食を抑えます。特にセンターTCのロングライフ化に貢献しています。
■ロングライフ
　このコーティング技術は、センサーの寿命を、最大3倍までを延ばすことが可能です。

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