オートローダによる完全自動計測！ウェーハ表層欠陥検査装置
『MO-601HS』は、ウェーハ全面の計測を可能とし、Siウェーハのデバイス
活性層である表層近傍の結晶欠陥を表面上の異物及び表面の荒さ、傷と識別
して検査できるウェーハ表層欠陥検査装置です。
ビュアー機能による欠陥の実画像による確認、並びにレーザマーキング機能
によるTEM観察での欠陥解析が可能。
酸化膜の耐圧と信頼性を非破壊で評価する方法として、アニールウェーハ
などの品質維持に活用されています。
【特長】
■オートローダによる完全自動計測
■200mm,300mmウェーハ対応
■高感度：200nmΦの欠陥を検出可能
■欠陥・異物・ヘイズの全面マップ計測機能
■計測条件を一定としたラスタースキャン方式
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報ウェーハ表層欠陥検査装置『MO-601HS』
【その他の特長】
■欠陥分布マップ表示機能
■フォトルミネッセンス(PL)測定機能
■ドープ量均一性チェック
■ウェーハ汚染状態の検証
■レーザマーキング機能（オプション）
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログウェーハ表層欠陥検査装置『MO-601HS』
取扱企業ウェーハ表層欠陥検査装置『MO-601HS』
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株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/
■半導体ウェーハ検査装置・測定装置の販売
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