『X・Y・θアライメントステージ』アイセルグループ

3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造！

『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動
アクチュエータ“ミリオンアクチュエータ”を採用することで高精度送りを
実現した製品です。

テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。
高剛性と低振動の両立を実現しました。

【特長】
■高精度
■高剛性
■超薄型・シンプル構造
・テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報『X・Y・θアライメントステージ』

【仕様】
■型式：MSX230
■駆動方式：ミリオンアクチュエータ　GMA2815M　×3
■ストローク
・X軸、Y軸：±7.5mm
・θ軸：±7°
■テーブルサイズ：230×230mm
■ベースサイズ：310×310mm
■高さ：80mm
■定格速度：10mm/sec
■最高速度：50mm/sec

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用途／実績例	【用途】 ■半導体製造・検査装置 ■液晶パネル製造・検査装置 ■スクリーン印刷機　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。