低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』 HUGパワー

薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！

『AURORA（オーロラ）』は、イオン注入後のレジスト剥離が出来る
低温レジスト剥離装置です。

プラズマ処理とオゾン水処理を組み合わせることで残渣なしで剥離できるほか、
下地膜（Si、SiO2など）を膜べりなしでの剥離にも対応します。

また、硫酸過水、アンモニア過水等の薬液洗浄工程をなくすことで、
ランニングコストおよび工程数を削除可能。
速い除去レート(2～4μm/min)により高いスループットが達成できます。

【特長】
■剥離性能
■コスト低減
■工程数削減
■設置面積削減

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』

【基本構成】
■搬送ロボット
■プラズマ処理装置
■オゾン水処理装置
■高濃度オゾン水発生装置
■加熱ユニット

【仕様】
■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ）
■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応
■カセット数：2カセット
■用力：DIW、N2、O2、CO2、CDA
■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H）

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用途／実績例	【対象アプリケーション】 ■イオン注入後のレジスト剥離 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。