株式会社東京インスツルメンツ【AFM・SPM用】校正用グレーティング

最終更新日：2017-08-24 13:08:14.0
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各種SPMシステムの校正やSPMプローブの評価。測定の標準サンプルとしても好適。

AFM・SPM校正用の基準サンプルです。御用途に合わせて最適なものを選択できます。
・X軸、Y軸、Z軸較正
・ノンリニアリティ検出
・横方向、垂直方向のノンリニアリティの検出
・角変形の検出
・tip 形状のパラメーター（アスペクト比、曲率半径）、tipの劣化、コンタミネーションコントロールの決定。
・ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出
・tip特性
・スキャニングtipの3-D視覚化
・tipのアスペクト比の決定
・X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正

SPM測定の練習用、学生実験用などにもご使用頂けます。

関連リンク - http://www.tokyoinst.co.jp/products/detail/NT04/in…

基本情報【AFM・SPM用】校正用グレーティング

■TGZ1、TGZ2、TGZ3
Z軸の較正およびノンリニアリティの検出に使用する、長さのある凹凸が繰り返されたグレーティング。

■TGG1
マイクロメーター単位の平行な稜線が並んだ、グレーティング。

■TGQ1
X軸、Y軸、Z軸較正およびノンリニアリティ測定用のグレーティング

■TGT1
使用するカンチレバーのtip形状のパラメーターを検討するためのグレーティング

■TGX1
横方向較正およびノンリニアリティ測定用の、四角柱の縁下を鋭く切り取ったものをアレイしたグレーティング

■TDG01
X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正用のグレーティング

価格帯	1万円 ~ 10万円
納期	お問い合わせください
用途／実績例	■走査型プローブ顕微鏡の校正作業 ■SPM測定の練習用サンプル ■学生実験

ラインナップ

型番	概要
TGZ1	シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成した、ステップ高21.6nm(typical)の1軸形状の校正サンプル。【用途】Z軸較正、ノンリニアリティ検出
TGZ2	シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成した、ステップ高107nm(typical)の1軸形状の校正サンプル。【用途】Z軸較正、ノンリニアリティ検出
TGZ3	シリコンウェーハ上のSiO2層の上に形成した、ステップ高560nm(typical)の1軸形状の校正サンプル。【用途】Z軸較正、ノンリニアリティ検出
TGG1	シリコンウェハ上に形成した、正確な直線と角度サイズを持つ三角形ステップを持つ1軸形状の校正サンプル。【用途】・X軸またはY軸の較正、横方向・垂直方向のノンリニアリティの検出、角変形の検出、tip特性
TGQ1	シリコンウェハ上に形成した、小さな正方形の3-Dアレイを持つ校正サンプル。【用途】・X・Y・Z方向の同時較正、横方向較正・横方向ノンリニアリティの検出、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出
TGT1	シリコンウェハ上に形成した、シャープなティップのアレイを持つ校正サンプル。【用途】スキャニングtipの3-D視覚化、tip 形状のパラメーター（アスペクト比、曲率半径）、tipの劣化、コンタミネーションコントロールの決定。
TGX1	横方向較正およびノンリニアリティ測定用の、四角柱の縁下を鋭く切り取ったものをアレイしたグレーティング。【用途】横方向較正、横方向ノンリニアリティの検出、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリング効果の検出、tipのアスペクト比の決定
TDG01	ガラスフェーハ上に形成した、カルコゲナイドガラス層上に1軸形状の平行な稜線を作製した校正サンプル。【用途】X軸またはY軸でのサブミクロン単位での較正