エムエス機器株式会社 温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』

フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大60%削減!騒音・振動も防止!

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー
です。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

主要エッチャーメーカーの製品に対応!

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

【特長】
■消費電力を最大60%削減
■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
■騒音・振動を低減

基本情報温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』

【基本仕様】
温度範囲:-10℃~80℃
冷却能力:NIKOLA3K : 3000W@20℃ NIKOLA5K : 5000W@20℃
加熱能力:2000W@25℃
タンク:10L
接液部材質:アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー
外寸法:W566×D711×H887(mm)

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 300mmプラズマエッチング装置に採用。

カタログ温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』

取扱企業温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』

WS000000.JPG

エムエス機器株式会社

科学機器の輸入・国内販売及びアフターサービス業務。

温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

エムエス機器株式会社

温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』 が登録されているカテゴリ