JFEテクノリサーチ株式会社 インライン膜厚分布測定装置「フィディカ（FiDiCa）」のご案内
- 最終更新日：2017-08-21 15:04:49.0
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薄膜による干渉光をイメージング分光器で測定した世界初のインライン膜厚分布測定装置のご紹介です
イメージング分光カメラ（ハイパースペクトルカメラ）により、線状領域の反射光を分光して2次元の画像として出力します。
モノクロカメラと接続することで同時に多くの点の分光データを採取できます。
基本情報インライン膜厚分布測定装置「フィディカ（FiDiCa）」のご案内
■装置仕様
膜厚レンジ：50nm～1000nm 100nm～5000nm 1000nm～100000nm
測定サイズ：視野幅：50mmから2000mmまでで任意に設定可能
測定長：ラボ機600mmまで、インラインでは制限無（※）
測定点数：幅方向：1920点（最大） × 長手方向：1920点（任意)
空間分解能：幅方向：約26μm～約1.04mm
長手方向：測定条件による
測定時間：標準で約10000点／秒
（例）1920点×1920点で約6分
膜厚分解能：1nm
測定精度：±1%または±3nmの大きい方
測定再現性：0.5%以下
分光カメラ寸法：W60xD350xH90mm（ケーブルを除く）
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ■用途 対象表面の薄膜の厚さ分布の観察・記録・評価・検査 ■対象例 ガラス･樹脂面上のコーティング、シリコンウエハ･金属上の表面酸化膜、機能性フィルム ■測定事例 ・モノクロOHPシートのコーティング層 ・カラーOHPシートのコーティング層 ・市販の調理用ラップ ・ニュートンリングの空隙 ・シリコンウェハの酸化膜 ・シリコンウェハの窒素膜 ・CD表面のポリカーボネート |
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取扱企業インライン膜厚分布測定装置「フィディカ（FiDiCa）」のご案内
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●分析・評価 ●環境技術 ●材料技術 ●計測システム（ハイパースペクトルカメラ／イメージング分光システム） ●情報調査 ●特許事業
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