還流ファン方式を採用!炉内の温度分布を均一に保ちます
『TE-9815』は、ハードディスクアルミニウム基板製造ラインの
専用カセット収納サブストレートエージング自動化装置です。
炉内の温度分布を均一にするため、還流ファン方式を採用。
炉内、コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。
【特長】
■クリーンルームクラス10,000対応
■還流ファン方式を採用
■ワークに衝撃振動を与えず搬送が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報全自動連続焼鈍装置『TE-9815』
【仕様】
■適用ワーク:3.5インチサブストレート
■サイクルタイム:18~22sec/カセット
■電源:AC400V、AC200V
■空圧源:0.5MPa以上
■焼鈍温度:200℃~300℃
■クリーンルームクラス:10,000クラス
■本体寸法:6456mm(W)×2990mm(D)×2283mm(H)
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カタログ全自動連続焼鈍装置『TE-9815』
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