HUGパワー株式会社事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

最終更新日：2023-03-17 09:50:16.0
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太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。

本ページでは、太陽電池用シリコン基板の切削粉を除去処理した際のデータ資料を掲載しております。

【特長】
■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減
■使用するのは「純水」のみ
■化学薬品の使用量を大幅に削減
■洗浄力を大幅に向上
■半導体用洗浄にも使用

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

基本情報事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

【基本構成】
○金属汚染のない蒸気発生装置
○超音速蒸気噴射ノズル
○洗浄機本体との通信

【蒸気発生装置】
○蒸気発生量：2～100kg/h
　※必要な蒸気量に対応するサイズをご用意
○用力：DIW、N2、CDA、200VACまたは100VAC
○蒸気圧力制御範囲：0.05-0.3MPa

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途／実績例	【用途】 ○太陽電池の基板洗浄 ○LED製造における金膜剥離 ○半導体製造工程 ○ガラス基板の洗浄等 ○異物・ポリマー除去 ○油脂、指紋など除去 ○医療への応用 ○美容への応用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。