クリエート・デザイン株式会社 高周波電源『T857シリーズ』
- 最終更新日:2017-10-19 16:36:38.0
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高信頼設計の高性能高周波電源
『T857シリーズ』は、オール・ソリッドステート・タイプの
高性能高周波電源です。
プラズマ・エッチング、RIE、プラズマCVD、RFスパッタリング等の
各種プラズマ処理に適します。
また、当シリーズの出力インピーダンスは公称50Ωですが、各種保護回路
により広範囲な負荷及びショート,オープン等の過酷な運用にも
対応できます。
【特長】
■強力なファンによる強制空冷
■高許容反射電力
■リニアライズされたパワーメーターとモニタ出力
■リニアな出力制御
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高周波電源『T857シリーズ』
【ラインアップ】
■T857-1
■T857-2
■T857-3
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■プラズマ・エッチング ■RIE ■プラズマCVD ■RFスパッタリング ■基板バイアス ■その他各種プラズマ処理 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ高周波電源『T857シリーズ』
取扱企業高周波電源『T857シリーズ』
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