高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2 VAT

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ
-過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。
-穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。
-O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します！

基本情報高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

特長
1. 開および閉位置での機械的なロックです
2. パーティクル発生が少ない
3. 金属と金属が擦れないため、Oリングで摩擦がほとんど起きません
4. 可動部品がありません

価格情報	要相談
納期	お問い合わせください ※要相談
型番・ブランド名	Series25
用途／実績例	プラズマCVDチャンバーのクリーニングのため、NF3ガスを使用する環境の場合: 1. ボディ材質のアルミニウムはNF3ガスに対して優れた耐食性を示します 2. 真空部分にあたるゲート取付けネジ/ワッシャー/シャフトは、プロセスの安定性を更に向上させるためNi-PTFEのコーティングがなされている 3. プロセスによっては他のシール材の使用を推奨しています（FKMの代わりにFFKMなど）

ラインナップ

型番	概要
25024-KA14	リミットスイッチなし
25028-KA14	リミットスイッチなし
25032-KA14	リミットスイッチなし
25024-KA24	リミットスイッチ付き
25028-KA24	リミットスイッチ付き
25032-KA24	リミットスイッチ付き
25124-KA14	リミットスイッチなし
25128-KA14	リミットスイッチなし
25132-KA14	リミットスイッチなし
25124-KA24	リミットスイッチ付き
25128-KA24	リミットスイッチ付き
25132-KA24	リミットスイッチ付き
25224-EA14	リミットスイッチなし
25228-EA14	リミットスイッチなし
25232-EA14	リミットスイッチなし
25224-EA24	リミットスイッチ付き
25228-EA24	リミットスイッチ付き
25232-EA24	リミットスイッチ付き