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高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4
高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ
-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ
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コンパクトな真空封止用バルブ
-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要
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特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)
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大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード
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過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい
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大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン
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優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
-ショックフリーなL字動作 -パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 -保有コストが低い
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CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
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大きな差圧に対応可能！
-大きな差圧対応 -絞り開口部はメモリでの設定が可能 -アングルおよびインラインボディ
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優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ
Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで…
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極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
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パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ
– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル
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腐食性ガスにも対応！
-極めて少ないアウトガス量 -大きな差圧対応 -CF回転フランジ
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過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）
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シンプルなソリューションをお求めの方に！
-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス
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緊急遮断シャッターシステム Series 77.1/77.3
加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する
-高い信頼性 -メンテナンス不要 -研究機関向け
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均等なガスフローで高度なプロセスに最適
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの…
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（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用
-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能
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UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール
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フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用
-水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし -工業用 -UHV対応
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コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。
-頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能
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開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応
-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング
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開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易
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半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
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開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空…
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200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。
-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン…
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SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続…
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革新的なソリューションをもたらすVAT溶接ベローズ
VAT溶接ベローズのおもな特長は高気密性、クリーン度と繰り返し寿命にあります。 1. お客様のご要求に柔軟に応じつつ、より実際のご使用環境・条件に即してベストな材質・形状をご提案する十分な実績が…
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VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ
研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負…
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0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能
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高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2
フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが…
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