半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない
-メンテナンスが容易
-低コスト
基本情報Lゲートバルブ SERIES 92.0
サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“)
アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー
ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール
軸シール: ベローズ
標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F
真空レベル: HV, UHV
| 価格情報 | 要相談 |
|---|---|
| 納期 |
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※要相談 |
| 型番・ブランド名 | Series920 |
| 用途／実績例 | 主な用途は半導体製造装置の表面分析/真空遮断。 |
カタログLゲートバルブ SERIES 92.0
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