優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
-ショックフリーなL字動作
-パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作
-保有コストが低い
基本情報大型ドアー L-VAT Series 07.8
開口サイズ: 81 × 800 mm～250 × 3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“)
アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き
ゲート材質: アルミニウム
シール技術: L-VAT
リーク量: ゲート（閉方向） < 1 x 10-7 mbar ls-1（Δp at gate = 0.1 MPa）
ゲートにかけ得る許容最大差圧
バルブ閉方向: ≤ 1 bar
バルブ開方向: ≤ 5 mbar
第一回サービスまでのサイクル数: 百万回
開/閉時間: ≤ 2.5 s
| 価格情報 | 要相談 |
|---|---|
| 納期 |
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※要相談 |
| 型番・ブランド名 | Series 07.8 |
| 用途／実績例 | FPDおよびPV製造装置用 |
カタログ大型ドアー L-VAT Series 07.8
取扱企業大型ドアー L-VAT Series 07.8
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