極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力
-リミットスイッチ付き
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)
基本情報コントロールゲートバルブ Series 64.2
サイズ: DN63-400mm
アクチュエータ: 搭載型コントローラ
ボディ材質: ステンレススチール
軸シール: 回転軸シール
標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS
シール技術: VATLOCK
リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1
使用圧力範囲:
DN63-200 1 × 10-8 mbar~2 bar (abs)
DN250-400 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
ゲートにかけ得る許容最大差圧:
バルブ閉の状態
DN63-200 ≤ 2 bar
DN250-400 ≤ 1.2 bar
開/閉動作中 ≤ 30 mbar
第一回サービスまでのサイクル数:
圧力コントロール 百万回
閉/開 200,000
取付け方向:
DN63-350 自由
DN400 水平
バルブの開閉位置表示: 目視位置表示付き(機械的およびコントローラに)
価格情報 | 要相談 |
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納期 |
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※要相談 |
型番・ブランド名 | Series 64.2 |
用途/実績例 | SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
---|---|
64236-PEGG | DN63 ISO-F コントローラ搭載型 |
64238-PEGG | DN80 ISO-F コントローラ搭載型 |
64240-PEGG | DN100 ISO-F コントローラ搭載型 |
64244-PEGG | DN160 ISO-F コントローラ搭載型 |
64246-PEGG | DN200 ISO-F コントローラ搭載型 |
64248-PEGG | DN250 ISO-F コントローラ搭載型 |
64250-PEGG | DN320 ISO-F コントローラ搭載型 |
64252-PEGG | DN400 ISO-F コントローラ搭載型 |
64236-CEGG | DN63 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
64238-CEGG | DN80 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
64240-CEGG | DN100 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
64244-CEGG | DN160 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
64246-CEGG | DN200 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
64248-CEGG | DN250 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
64236-UEGG | DN63 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
64238-UEGG | DN80 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
64240-UEGG | DN100 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
64244-UEGG | DN160 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
64246-UEGG | DN200 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
64248-UEGG | DN250 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
64236-TEGG | DN63 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64238-TEGG | DN80 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64240-TEGG | DN100 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64244-TEGG | DN160 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64246-TEGG | DN200 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64248-TEGG | DN250 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64250-TEGG | DN320 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64252-AEGG | DN400 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
64236-JEGG | DN63 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64238-JEGG | DN80 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64240-JEGG | DN100 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64244-JEGG | DN160 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64246-JEGG | DN200 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64248-JEGG | DN250 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64250-JEGG | DN320 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64251-JEGG | DN350 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
64252-JEGG | DN400 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
カタログコントロールゲートバルブ Series 64.2
取扱企業コントロールゲートバルブ Series 64.2
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