VAT株式会社 コントロールゲートバルブ Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

-優れた圧力制御能力
-リミットスイッチ付き
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)

基本情報コントロールゲートバルブ Series 64.2

サイズ: DN63-400mm

アクチュエータ: 搭載型コントローラ

ボディ材質: ステンレススチール

軸シール: 回転軸シール

標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS

シール技術: VATLOCK

リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1

使用圧力範囲:
DN63-200 1 × 10-8 mbar~2 bar (abs)
DN250-400 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)

ゲートにかけ得る許容最大差圧:
バルブ閉の状態
DN63-200 ≤ 2 bar
DN250-400 ≤ 1.2 bar
開/閉動作中 ≤ 30 mbar

第一回サービスまでのサイクル数:
圧力コントロール 百万回
閉/開 200,000

取付け方向:
DN63-350 自由
DN400 水平

バルブの開閉位置表示: 目視位置表示付き(機械的およびコントローラに)

価格情報 要相談
納期 お問い合わせください
※要相談
型番・ブランド名 Series 64.2
用途/実績例 SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。

ラインナップ

型番 概要
64236-PEGG DN63 ISO-F コントローラ搭載型
64238-PEGG DN80 ISO-F コントローラ搭載型
64240-PEGG DN100 ISO-F コントローラ搭載型
64244-PEGG DN160 ISO-F コントローラ搭載型
64246-PEGG DN200 ISO-F コントローラ搭載型
64248-PEGG DN250 ISO-F コントローラ搭載型
64250-PEGG DN320 ISO-F コントローラ搭載型
64252-PEGG DN400 ISO-F コントローラ搭載型
64236-CEGG DN63 CF-F metric threads コントローラ搭載型
64238-CEGG DN80 CF-F metric threads コントローラ搭載型
64240-CEGG DN100 CF-F metric threads コントローラ搭載型
64244-CEGG DN160 CF-F metric threads コントローラ搭載型
64246-CEGG DN200 CF-F metric threads コントローラ搭載型
64248-CEGG DN250 CF-F metric threads コントローラ搭載型
64236-UEGG DN63 CF-F UNF threads コントローラ搭載型
64238-UEGG DN80 CF-F UNF threads コントローラ搭載型
64240-UEGG DN100 CF-F UNF threads コントローラ搭載型
64244-UEGG DN160 CF-F UNF threads コントローラ搭載型
64246-UEGG DN200 CF-F UNF threads コントローラ搭載型
64248-UEGG DN250 CF-F UNF threads コントローラ搭載型
64236-TEGG DN63 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64238-TEGG DN80 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64240-TEGG DN100 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64244-TEGG DN160 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64246-TEGG DN200 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64248-TEGG DN250 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64250-TEGG DN320 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64252-AEGG DN400 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型
64236-JEGG DN63 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64238-JEGG DN80 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64240-JEGG DN100 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64244-JEGG DN160 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64246-JEGG DN200 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64248-JEGG DN250 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64250-JEGG DN320 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64251-JEGG DN350 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型
64252-JEGG DN400 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型

カタログコントロールゲートバルブ Series 64.2

取扱企業コントロールゲートバルブ Series 64.2

Doku_CompanyBrochure_YB1426EA_WEB-1.jpg

VAT株式会社

スイスVAT社 高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

コントロールゲートバルブ Series 64.2へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

VAT株式会社

コントロールゲートバルブ Series 64.2 が登録されているカテゴリ