コンパクトな真空封止用バルブ
-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない
-ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能
-分解、クリーニング後の調整不要
基本情報振子式高真空バルブ Series 16.2
サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“)
アクチュエータ
圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング(NC)
3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)
ボディ材質: アルミニウム
軸シール: 回転軸シール
標準フランジ: ISO-F、ASA-LP、JIS
リーク量
バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1
使用圧力範囲: 1 × 10-8 mbar ~ 1.2 bar (abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1.2 bar
バルブを開けるときの許容最大差圧
DN 200: ≤ 10 mbar
DN 250-500: ≤ 5 mbar
第一回サービスまでのサイクル数: 200,000
加熱および冷却速度: ≤ 30 °C h-1
軸シール: 回転軸シール
電磁弁: 24 V DC、5.4 W(その他はお問い合わせ下さい)
価格情報 | 要相談 |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※要相談 |
型番・ブランド名 | Series 16.2 |
用途/実績例 | 高真空アプリケーション用 |
ラインナップ
型番 | 概要 |
---|---|
16236-PA21/JA21/TA21 | DN63 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16240-PA21/JA21/TA21 | DN100 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16244-PA21/JA21/TA21 | DN160 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16246-PA21/JA21/TA21 | DN200 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16248-PA21/JA21/TA21 | DN250 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16250-PA21/JA21/TA21 | DN320 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16251-JA21/TA21 | DN350 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16252-PA21/JA21/TA21 | DN400 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16254-PA21/JA21/TA21 | DN500 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16236-PA28/JA28/TA28 | DN63 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16240-PA28/JA28/TA28 | DN100 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16244-PA28/JA28/TA28 | DN160 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16246-PA28/JA28/TA28 | DN200 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16248-PA28/JA28/TA28 | DN250 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16250-PA28/JA28/TA28 | DN320 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16251-JA28/TA28 | DN350 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16252-PA28/JA28/TA28 | DN400 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
16254-PA28/JA28/TA28 | DN500 ISO-F/JIS保守用フランジ/ASA-LP; 3位置圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
カタログ振子式高真空バルブ Series 16.2
取扱企業振子式高真空バルブ Series 16.2
振子式高真空バルブ Series 16.2へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。