ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置ソーラーリサーチ研究所

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイチャック。

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。
「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向かって噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し搬送します。

関連リンク - http://www.solarlab.co.jp/chip

基本情報ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

　「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向かって噴出することにより、基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。
　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバークラフト）の機能をはたし、クッション室の圧力は急激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。
◎適応
１．微細ウエハチップ
２．微細レンズ
３．モールドレンズ用プリフォーム
４．高温ウエハ
５．水和工程の含水したソフトコンタクトレンズ
６．柔軟フィルム（バイオフィルム）

価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	微小物の非接触搬送装置「フロートチャックSA-CH型」
用途／実績例	◎適応１．微細ウエハチップ２．微細レンズ３．モールドレンズ用プリフォーム４．高温ウエハ５．水和工程の含水したソフトコンタクトレンズ６．柔軟フィルム（バイオフィルム）