φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能
本装置は、φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
基本情報ナノインコーター(NIC-1510)タンク入替可+超音波洗浄槽付
【主仕様】
1.ストローク: 320mm
2.対象サイズ: φ250 t0.3
3.対象材質: ウエハー、金属板
4.ディップ速度: 0.1mm/secから60mm/sec
5.塗布液循環部: 無
6.塗布液温度管理: 無
7.フィルターメッシュ: 無
8.乾燥部: 無
9.乾燥温度: 無
10.ヘパユニット: 無
11.装置サイズ(概寸): W:1100×D:975×H:1410mm
| 価格帯 | 500万円 ~ 1000万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | NIC-1510 |
| 用途／実績例 | φ250～φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。 |
カタログナノインコーター(NIC-1510)タンク入替可+超音波洗浄槽付
取扱企業ナノインコーター(NIC-1510)タンク入替可+超音波洗浄槽付
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