『Baratron600シリーズ』日本エム・ケー・エス

優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現！キャパシタンスマノメータ

『Baratron600シリーズ』は、苛酷なプロセス環境においても正確で
再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の
絶対圧型キャパシタンスマノメータです。

最も安定性の高い低圧測定圧力トランスデューサとして利用されています。

【特長】
■最小2.66PaF.S.を実現
■ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定
■読みの％精度で、1×10-4F.S.まで測定
■最高200℃温度制御タイプからセットポイントリレー付きまで各種ラインナップ
■オールInconel又はIncoloyニッケル合金の耐腐食性構造

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.mksinst.com/Intl/JP1.aspx

基本情報『Baratron600シリーズ』

【その他の特長】
■優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現
■過圧限界が高く(310KPa)、大気圧下でアイソレーションバルブ不要
■CEマーク対応
■RoHS対応
■全てのセンサをISO9001認定工場で製造
■2年間保証

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業『Baratron600シリーズ』

日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。