純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット SCREEN SPEサービス

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！安定した供給を実現します。

純水昇圧ユニットの導入により、
純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。

純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。

この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。

【特長】
■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。
■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、
高い耐久性能を実現。
■脈動のない安定した供給を実現。
■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。
■供給先装置の通信仕様に対応。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.screen-sv.co.jp/products/diw

基本情報純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット

【仕様(一部抜粋)】
■装置寸法：500mm(幅)×690mm(奥)×1,470mm(高）
■装置材質：PVC
■最大使用圧力：0.5MPa
■制御/操作方式：PLC制御方式/タッチパネル
■非常停止ボタン：設置
■漏液検知：リークセンサー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】工場内に複数の装置があり同時に純水を使用すると互いに干渉し、供給量と供給圧が変動します。その変動を抑えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット

株式会社 SCREEN SPEサービス

・半導体製造装置の立ち上げ・セットアップ・半導体製造装置の仕様変更・半導体製造装置の修理・半導体製造装置のリフレッシュ・プリメンテサービス・半導体製造装置のプロセス最適化・延命化支援・半導体製造装置の移設・解体・保守契約による各種技術サービス・周辺機器の開発・設計・製造・販売・周辺機器の修理・耐薬エプロンSEBAPRON（セバプロン）の販売・装置消耗部品の販売