作業環境、現場での大粒子パーティクルの管理システム構築のための技術資料です
『パーティクルカウンター』は、コンタミネーションコントロール
分野の製品を取扱っている、株式会社エアリーテクノロジーの
光散乱方式微粒子計です。
運用モデルでは、OPC単独での作業の局所・動的管理や、
蒸着機などのシステムと連動運用で、チャンバーオープンから
次ロットの基板投入までの工程管理を行っています。
当資料では、これらパーティクルカウンターの概念や改善ポイント、
近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさなど、大粒子パーティクルの
管理システム構築に関する様々な内容を、図表を用いてご紹介しています。
【掲載内容】
■蒸着業界での現在までのパーティクルカウンター(OPC)の概念
■近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさ
■薄膜膜中のコンタミサイズの表面への影響
■要求レベルから算出した基板上のコンタミサイズ
■薄膜コーティングにおいて管理すべきコンタミのサイズ など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報リアルタイム計測『パーティクルカウンター』※技術資料進呈
【掲載製品】
■OPC8000シリーズ
・PP 8303：3粒径 0.3μm～10.0μm
・PP 8306：6粒径 0.3μm～10.0μm
・PP 8506-10：6粒径 0.5μm～10.0μm
・PP 8506-20：6粒径 0.5μm～20.0μm
・PP 8506-30：6粒径 0.5μm～30.0μm
■ダスカー300A：300μm以上の落下塵
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
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取扱企業リアルタイム計測『パーティクルカウンター』※技術資料進呈
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