クリエイティブコーティングス『気相技術』クリエイティブコーティングス

ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！

「気相技術」は、樹脂原料・燃料電池など『新素材・新材料』『エネルギー』、医療センサー・機器など『医療・ヘルスケア』、電子部品・新ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。

また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm～1000nmの成膜を実現。
蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。

【特長】
■ALDロボットCVA series
　ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能
■バレル型ALDロボットCVA-B series
　低温ALD装置とバレル機構の融合
■低温高周波励起DLC成膜装置CVC series
　低温で、グラファイトからDLCまで密着性の良い成膜が可能
■バブリングCVDロボットCVB series
　液体→気体
　低温で、低コスト＆高品質成膜が可能
■IBAD（イオンアシスト蒸着法）CVI series
　IBADによる受託成膜例
　低温での低エネルギー照射を可能にし、タッチパネルの透明導電膜（Zn　O）や高融点金属電極形成の密着性が向上

関連リンク - http://c-coatings.co.jp/deposition/

基本情報クリエイティブコーティングス『気相技術』

【ALDによる受託成膜例】膜厚100nm以下
■成膜スペック
ワーク：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂、フィルム他
サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません
■適応膜
SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、ZrO₂、HfO等

【DLCによる受託成膜例】膜厚100nm～1μ程度
■成膜スペック
ワーク：導電性フィルム、構造補強、低摩擦フィルム、樹脂製品、自動車部品、金属部品、医療製品等
サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません
■適応膜
DLC膜、グラファイト膜

【IBADによる受託成膜例】膜厚100～1000nm
■成膜スペック
ワークサイズ：φ100～300ｍｍ（不定形・円筒も可能）
層形成：単層膜・多層膜可能（Max.4層）　　　　　　　　
パターン蒸着：メタルマスク対応（オプション）
■適応膜
高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO等

ご紹介しているもの以外でも、お客様のご要望内容によっては対応可能な場合も多くございます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。