日本インテグリス合同会社 高流量の手動式／空圧式バルブ『インテグラ プラス WS』
- 最終更新日：2019-10-25 13:21:11.0
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『インテグラ プラス WS』は、樹脂バルブでは希少なウェアタイプの
バルブ設計により、小型・高流量を実現した2方バルブです。
流路も簡素化され、デッドボリュームも解消。クリーンでスムーズな流れが
液交換時のフラッシング時間を短縮し、研磨用スラリーの凝集を防ぎます。
独自のダイアフラム構造は負圧にも対応。オプションのポジションセンサーと
ロックアウトカバーを使用すれば、さらに安全な稼働に寄与します。
オリフィスは「3/4"」「1"」「1 1/4"」の3タイプがあり、手動式マルチターン・
空圧式ノーマリークローズ・空圧式ノーマリーオープンからアクチュエータを選べます。
【アプリケーション】
■アルカリ性溶液/ガスへの暴露があるアルカリ薬液アプリケーション
■半導体製造施設内の薬液供給(BCD)ライン
■化学的機械的平坦化(CMP)におけるスラリー供給
■洗浄・剥離(WEC)における高純度薬液のハンドリング
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
★12月11日から開催される「SEMICON Japan 2019」に出展します。
基本情報高流量の手動式／空圧式バルブ『インテグラ プラス WS』
【展示会概要】＜SEMICON Japan 2019＞
日時：12月11日(水)～13日(金) 10：00～17：00
会場：東京ビッグサイト 西展示棟・南展示棟・会議棟
小間番号：7214 (南1ホール)
【仕様】
＜材質＞
材質接液部：PFA、PTFE
外部アクチュエータ部品：PVDFまたはECTFE、赤色PVDFインジケータ
内部アクチュエータ部品：PVDF、Viton(バイトン)、EPDM、PTFE
スプリング(空圧式のみ)：塗装ステンレススチール
＜使用条件＞
最高使用圧力：21℃ 入口/出口 -91.3kPa～552kPa
PVDFアクチュエータ：100℃ 入口/出口 275kPa*
ECTFEアクチュエータ：35℃ 入口/出口 552kPa*
エア供給圧範囲(ノーマリークローズのみ)：414～552kPa*
エア供給圧(ノーマリーオープンのみ)：414kPa
＜適合規格＞
RoHS、WEE
(*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データを参照してください。)
その他、詳しい仕様・特長は資料をご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | インテグラ (Integra) |
| 用途／実績例 | ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 |
詳細情報高流量の手動式／空圧式バルブ『インテグラ プラス WS』
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流路の断面：
デッドボリュームのないクリーンでスムーズな流れが液交換時のフラッシング時間を短縮し、研磨用スラリーの凝集を防ぎます。
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手動バルブ用ロックアウトカバー(オプション)：
誤操作やハンドルへの接触を防ぎ、安全性に寄与します。
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空圧バルブ用ポジションセンサー(オプション)：
開閉状態の自動監視により、確実な稼働を実現します。
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接続例：
多様なポート形状により、設置スペースと部品コストを削減します。
カタログ高流量の手動式／空圧式バルブ『インテグラ プラス WS』
取扱企業高流量の手動式／空圧式バルブ『インテグラ プラス WS』
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液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。 表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。
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