高品質な貼付けを、低コストで実現！フルオート真空テープマウンター
本機は、ウエハを真空チャンバー内で貼付けをすることができる、
『フルオート真空テープマウンター』です。
OKK独自のプリカットユニットも標準搭載しており、
ダイシングフレームとウエハをセットするだけで高品質な貼付けを簡単・
低ランニングコストで実現できます。
【特長】
■非接触貼付(特許)ノンダメージ
■廃棄幅「0」(特許)
■豊富なオプション
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基本情報『フルオート真空テープマウンター』
【仕様】
■対象ワーク：8 インチフレームまで
■使用テープ：[幅：300mm]×[外径：max.φ200]×[内径：φ76～77]
■到達真空度：30Pa 以下
■貼付け精度：±1mm 以内
■装置寸法 ：W1700 mm×D2000 mm×H1800 mm
■装置重量：2000kg
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ『フルオート真空テープマウンター』
取扱企業『フルオート真空テープマウンター』
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■精密測定機器、半導体及び液晶製造関連装置の製造・販売及び 回転機器メンテナンス
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