電流安定度、位置安定度は業界トップクラス！電子線描画装置クレステック

加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現！※描画デモ可能

通信用半導体レーザーのDFB-LDの生産用に適したモデルです。微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた50kV加速電圧を採用した主力製品です。

【特長】
■単結晶ZrO/Wを採用したＴＦＥ電子銃
■抜群のビーム電流安定性、ビーム位置安定性
■加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現

※描画デモできます。詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。

関連リンク - http://www.crestec8.co.jp/business/electron.html#2

基本情報電流安定度、位置安定度は業界トップクラス！電子線描画装置

クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして20年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。

ビーム径：2nmΦ以下
最小線幅：10nm以下
加速電圧：50kV, 30kV
ステージ：4インチ, 6インチ, 8インチ対応

※仕様詳細についてはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。