電子ビーム描画装置の製品一覧
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単一ショットで一括描写加工『レーザーマーキング用ビーム成形器』
高速可変可能なビームシェーパーを使用！微細マーキングを用いたアプリケーション【レーザーEXPO 出展】
当社の『VULQ1』は、高速可変可能なビームシェーパーを使用したキオバ社製のレーザーマーキング用ビーム成形器です。 空間位相変調器を制御することで、像を任意に形成することができる画期的レーザーマーキ…
メーカー・取扱い企業： カンタム・ウシカタ株式会社
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【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション
今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧ソリューションを提供いたします。
半導体の高精度化と微細化、またその半導体を必要とする分野が急速に拡大することに伴って、現在半導体製造におけるプロセス装置は今まで以上に高電圧化が進みながら、装置自体の小型化が強く求められています。 …
メーカー・取扱い企業： レモジャパン株式会社
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加工難度の高いアルミにも対応致します！！
・アルミ製板金品。 ・材料加工、板金組立、溶接、アルマイト処理まで一貫生産 比較的加工難度の高いアルミ製品ですが 弊社では、部材製作はもちろん溶接まで高い技術を持った職人がおります。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社ショウエイ 本社
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滑らかな非球面レンズにより、特定の波長に制限されない高精度なトップハットビームシェイパーです。
`Proprietary Top-Hat Beam Shaper TECHNOLOGY` かつてない独自技術（特許取得）のトップハットビームシェイパーです。 従来技術のDOE（Diffractive…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 彩世
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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最高級精度デジタルマノメータ ２３０／２４０ シリーズ
卓上型パネル取付型が用意されています。圧力センサはセトラ社の高精度圧力センサＭ２７０シリーズのセンサを使用し製作されます。絶対圧、ゲージ圧レンジは精度０．０６％ＦＳ。気圧レンジは精度０．３ｈＰａの高精…
メーカー・取扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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ビューラー・ライボルトオプティクス（旧OPTEG社）のイオンビーム描画装置
世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供…
メーカー・取扱い企業： ビューラー株式会社
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モデル２７０圧力センサは０～７００ｋＰａの絶対圧、ゲージ圧を±０．０５％ＦＳ精度で計測可能。気圧レンジは気象庁検定も可能です。
２７０の安定した高い性能は厳しい精度と高い信頼性を要する半導体露光装置を始め、多くの環境計測、工業用途、研究所、航空宇宙、自動車産業で豊富な実績を重ねています。気圧レンジは気象庁形式認定品です。
メーカー・取扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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絶対圧、ゲージ圧、気圧を±０．０２％ＦＳで計測します。長期安定性に優れ高精度の圧力基準器として使用可能です。各種デジタル設定可能
モデル３７０／４７０は、セトラ社独自のセトラセラムセンサ（特許技術）と高度なマイクロプロセッサベースのデジタル電子回路と精巧なファームウェアが組み合わされ±０．０２％ＦＳの高精度システムがコンパクトで…
メーカー・取扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な真空気密隔壁での接続ニーズに応えるご提案」をいたします。
レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。 高…
メーカー・取扱い企業： レモジャパン株式会社
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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高出力赤色半導体レーザーマーキング M1170NMSH-7LA
高出力赤色半導体レーザーマーキング／品番 M1170NMSH-7LA
波長635ｎｍ（赤色）を使った非接触の光ケ引装置です。 超小型で、超軽量、収束性も良く、長寿命を実現しております。 製材用、木工用、建材用、紙、繊維、その他あらゆる分野で切断時の直線出し、位置合わ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シロ産業
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世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の高いパターニングを実現！DMDを用いたマスクレス露光装置
D-light DL-1000シリーズは、レジストの三次元加工を容易に実現できる機能を搭載したフォトマスクが不要なマスクレス露光装置です。 本装置は、グレースケールデータを効率的に作成・変更できるソ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ナノシステムソリューションズ
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高速高解像度レーザー露光装置
『DWL 2000 GS』は、グレイスケールリソグラフィーに適した、柔軟性のある高速高解像度レーザー描画装置です。グレイスケールリソグラフィーは伝統的なバイナリリソグラフィーと異なり、マイクロレンズや…
メーカー・取扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置
『DWL 66＋』は、研究開発用途および小ロット生産やマスク作成やマスクレス露光に適した、高解像度のレーザー直接描画装置です。 マイクロストラクチャの製作と分析に必要な機能を、標準システムとして…
メーカー・取扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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高速パターン・ジェネレータ
『VPG＋シリーズ』は、高速な露光速度により、大型マスク製造、レジストマスター作成、さらには様々な平面基板にも直接描画に対応できる高速露光システムです。 半導体、ディスプレー、センサー、MEMS…
メーカー・取扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞
弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。
メーカー・取扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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ハーメチック構造で最大DC20KVの通電ができる小型コネクタです。
◆機能 ・定格電圧20kVDC ・小型形状で軽量 ・ワンタッチロックのバヨネットカップリング ・お客様でケーブルアセンブリが可能 (※ケーブル付きでの製作も承ります) ・RoHS対応 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社グローブ・テック
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焼付固着を防止できるボルト『SDCクリーンボルト』【潤滑剤不要】
潤滑剤・めっきを使わず焼付・カジリを防止！クリーン環境に最適な六角ボルト
「SDCクリーンボルト」はＳＤＣプラズマ表面硬化処理により、締付け時に焼付き固着を起こしにくい六角ボルトです。食品工場など、潤滑剤やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場での利用に…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中
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3波長を自在にコントロールし、最適な波長域でダイレクトイメージングが可能
『Ledia6』は、モバイル端末に搭載される基板のさらなる高密度・ 高精細化や、カーエレクトロニクス向けの多種多様な基板へのニーズに 信頼の露光技術でお応えし続ける直接描画装置です。 3波長…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREEN PEソリューションズ 本社
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ビームエネルギー100～2,000eV！独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム
『ELBS-150』は、反応性イオンビームミリング装置に適用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です。 新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイク…
メーカー・取扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社
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頑丈でスケーリング可能な設計！高エネルギーで強く集束されたビーム
『LION』は前処理と表面改質に適したコンポーネントです。 アルゴン処理で炭化水素を除去し、必要なら酸素追加が可能。イオンビームは 強く収束され、高エネルギー化しています。 物理的エッチ…
メーカー・取扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社
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2台のロボットが協調しながら似顔絵を作画！輪郭などの線を画像から抽出してロボットの軌跡を生成します
『協調動作型 似顔絵作画ロボット』は、2台のロボットがカメラで 撮影したお客様の顔写真を用いて協調しながら似顔絵を描きます。 作画を行う「6軸ロボット」は、ハンドに保持したペンを用いて似顔絵を…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ウチゲン
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加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現！※描画デモ可能
通信用半導体レーザーのDFB-LDの生産用に適したモデルです。微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた50kV加速電圧を採用した主力製品です。 【特長】 ■単結晶ZrO/Wを採用したＴＦＥ電…
メーカー・取扱い企業： 株式会社クレステック 本社
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MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です
当製品は、大面積イオンビームによる高速ミリング処理に 適用できる大型イオン源です。 耐熱/低スパッタ率電極材料の採用により、低エネルギー アンペア級イオンビームを発生。 ご要望に合わせ…
メーカー・取扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社
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フォトマスクが不要！100nm以下の超微細パターンの形成が可能です
当社では、微細加工の受託サービスとして「電子ビーム(EB)描画加工」を 行っております。 EB描画はその名の通り、フォトマスクを用いることなく、 デバイスパターンを直接描画するマスクレス露光…
メーカー・取扱い企業： 株式会社FKDファクトリ
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高速半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』
『ULTRA』は、半導体用マスク作成に適した、高速高解像度レーザー描画装置です。 『ULTRA』高生産性、高精度性、高均一性、超高精度位置合わせ精度を備えるコスト性の良いマスク描画装置です。
メーカー・取扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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ハーメチックフィードスルー
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の 真空アプリケーションを提供することができます。
メーカー・取扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞
弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。
メーカー・取扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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サーマルFEエミッタを使用した軟Ｘ線管専用の駆動電源「XE303XP」です！
本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源、静電レンズ電源で構成されており、コントローラを標準搭載しています。 ●より詳細な仕様については、カタログをダウンロードし…
メーカー・取扱い企業： フューテックス株式会社
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LVH等の孔検査に最適な光学式外観検査装置 『MIYABI 7』
スルーホールやレーザービア（LVH）検査に多くの実績あり。長年の知見と最新技術を結集したハイエンド基板向けAOI
◆スルーホールやレーザービア（LVH）をパターンと同時に全穴検査 ◆あらゆる基板を高精度に検査する新開発の照明系 ◆パッド・ラインを個別に条件設定、欠陥検出精度を向上 ◆フロントソフトウェアセッ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREEN PEソリューションズ 本社
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表面処理装置 スパッタ用イオン銃
試料表面をクリーニングするためのコンパクトで簡便なイオン銃です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社テクノポート
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5"6"9"マスクケース
5"6"9"フォトマスクを搬送する為のケースです。 帯電防止材料をしております。 また積み重ねることも出来ます。
メーカー・取扱い企業： ツインリンクス株式会社
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TFE電子銃用-10kV高圧電源・CD-SEM,レビューSEM用
CD-SEM、レビューSEM用の高圧電源装置「FE103XP」です！
本製品は、CD-SEM,レビューSEM用の高圧電源装置です。加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてベストなチューニングを…
メーカー・取扱い企業： フューテックス株式会社
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【金属3Dプリンター】電子ビームでステンレスをリーズナブルに造形
電子ビーム方式の金属3DプリンターでSUS材を造形することにより、大幅な造形時間の短縮・コスト削減が期待できます。
一般的にはレーザー方式の金属3Dプリンターで造形するステンレス材（SUS316L）ですが、弊社では電子ビーム方式でも造形が可能です。 レーザー方式と比べて、電子ビーム方式の金属3Dプリンターは熱…
メーカー・取扱い企業： 日本積層造形株式会社
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外乱の変動磁界を検出、それを打ち消す磁界を発生させて磁界変動を制御し、安定させるための磁界発生器
▼アクティブ磁気シールド（磁場キャンセラー）の特長▼ ・現地設置がスピーディー ・電子ビーム装置の操作性を損なわない ・ローコスト ・美観が優れている ・自由サイズ可能（打消しコイルを装置の…
メーカー・取扱い企業： 株式会社オータマ
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ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。
＜PDP−ITO膜パターン修正レーザー装置＞ ■概要 PDPセルリペア装置は、点灯検査後のセルパネル欠陥に対し、ガラス越しにITOパターンをカットし、輝点を原点にし、パネルの修正を全自動にて行…
メーカー・取扱い企業： 株式会社清和光学製作所
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ＳＤＣクリーンボルトシリーズ【国際プロジェクトKAGRAに採用】
極低温から高温環境まで、不純物を嫌う現場に最適な今注目のボルトナットです！
「ＳＤＣクリーンボルト」は、半導体工場や医薬品工場など、潤滑油やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場で使用されている高品質なボルトナットです。 厳しい環境下でも最大限の効果を発…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中
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