レモジャパン株式会社【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

最終更新日：2021-10-22 13:39:43.0
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今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧ソリューションを提供いたします。

半導体の高精度化と微細化、またその半導体を必要とする分野が急速に拡大することに伴って、現在半導体製造におけるプロセス装置は今まで以上に高電圧化が進みながら、装置自体の小型化が強く求められています。
レモコネクタは、今後の半導体製造装置の進化に対してプッシュプル・小型高電圧製品で「お客様の電圧増加・省スペース化の課題を解決」いたします。

●高電圧：
最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ
"耐ノイズ性に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用意"
"（シールド付きＰＶＣ被覆線、試験電圧6～60kVDC対応、1重絶縁ケーブル、UL認定品 etc.）"

上記のような特徴を活かし、数多くのモデルを半導体製造装置でご使用いただいております。

基本情報【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。

主なアプリケーション分野：

高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置

気密（高真空）仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー　
■ 測長SEM他検査測定装置

耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源

小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM　他　検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ

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詳細情報【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

: レモ社は、最大50kVDCまでの幅広い高電圧丸型コネクタを提供しています。
当社のラインナップには、シングルシールドコネクタ（同軸型ケーブル用）だけでなく、マルチ高電圧ソリューション（最大21極）と複合構成があります。

高電圧ケーブル（UL対応品もご利用いただけます）とケーブル加工を含む完全な接続ソリューションを提供出来ます。

主なアプリケーション分野：
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置