超純水用フィルター『トリンジック UPW』日本インテグリス

15 nm、20 nm、0.1 μm、0.2 μmの粒子除去が可能な高流量、低コスト、クリーンな超純水用フィルター

『トリンジック (Trinzik) UPW』は、設備および装置で使用する超純水の高性能ろ過向けに設計されたクリーン度の高いフィルターです。

ディフェクトの原因となる粒子を除去する信頼性の高い高流量対応のフィルターで、半導体、ハードディスクドライブ製造、フラットパネルディスプレイ(LCD、LED、OLED、AMOLED、プラズマ)、ソーラー/太陽電池などの分野における超純水用ろ過に適しています。

【特長】
■多孔質の親水性PTFE メンブレン
■15 nm、20 nm、0.1 μm、0.2 μm
■メンブレン：PTFE (親水性)、その他の構成部材：ポリプロピレン(PP)
■高流量を実現し、運用コストが削減可能
■優れた除粒子性能
■フィルターからの抽出が少なく、クリーンなろ過を実現可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.entegris.com/

基本情報超純水用フィルター『トリンジック UPW』

【仕様】
■材質
　・メンブレン：PTFE (親水性)
　・サポート、コア、スリーブ：ポリプロピレン(PP)
　・O-リング：被覆フッ素ゴム(E-FKM)、シリコーン、EPDM、フッ素ゴム(FKM)
■孔径
　・15 nm、20 nm、0.1 μm、0.2 μm
■適合カートリッジ
　・コード0 (AS568-222)
　・コード5 (AS568-222、フィン付き)
　・コード6 (AS568-226)
　・コード7 (AS568-226、フィン付き)
■使用条件
　・最大許容正差圧：0.55 MPa @ 25℃、0.17 MPa @ 60℃
　・最大許容逆差圧：0.34 MPa @ 25℃
　・最高使用温度：80℃
■寸法
　・長さ：10"、20"、30"、40"
　・胴径69 mm

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用途／実績例	【用途】 ■補給水ループ ■ポリッシュループ ■レジントラップ ■一般的なプロセス装置用水 ■低コストオブオーナーシップなUF (UltraFiltration) モジュールの代替 ■高度なUFガードフィルター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取扱企業超純水用フィルター『トリンジック UPW』

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。