株式会社アドテックプラズマテクノロジー RF電源(高周波電源)
- 最終更新日：2023-07-26 15:26:23.0
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RF電源(高周波電源)・マッチングボックスなら当社におまかせください
当社では、液晶基板・半導体製造工程において使用される製造装置に搭載する
プラズマ用高周波電源、マッチングユニット及び計測器等の設計、製造、
販売及び技術サービスの提供を行っております。
大幅な小型化と部品共通化による納期短縮に成功したTXシリーズをはじめ、
従来機と比較して高さ・重量共に1/5以下のTSシリーズなどを取り揃えております。
【ラインアップ(電源)】
■AXシリーズ
■TXシリーズ
■TSシリーズ
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基本情報RF電源(高周波電源)
【その他のラインアップ】
■AWシリーズ 計測器
■ACA チャンバーアナライザー
■AMVシリーズ マッチングユニット
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
カタログRF電源(高周波電源)
取扱企業RF電源(高周波電源)
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■液晶基板・半導体製造工程において使用される製造装置に搭載する プラズマ用高周波電源、マッチングユニット及び計測器等の設計、製造、 販売及び技術サービスの提供
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